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Spectral Reflectometry
NOVAのUV-NIRリフレクトメータ技術は、世界中の多くのファブでCMPアプリケーションその他のプロセス制御に使用されています。この分野では、1,500台以上の装置組み込み型計測システム(IM)が卓越した信頼性を達成しています。
Measurement of complex layer stacks using Spectral Reflectometry
Measurement of complex layer stacks using Spectral Reflectometry