Challenge

光波散乱計測は、高速かつ高いコスト効果で構造のすべてのプロファイルを測定する実証された光学的計測法です。部分的にCD-SEMの代わりともなる光波散乱計測（スキャトロメトリ）の手順は一般に複雑で、強度信号を波長の関数として解釈し、エンドユーザに必要な情報を簡単に生成するソフトウェアを必要とします。このソフトウェアは、さまざまなユーザーレベルにおいても、同様且つ最善のソリューションを提供できるよう、完全自動、高速、簡易である必要があります。そしてこの自動化、高速の2つの重要な点とあらゆるデバイス構造に対応できる柔軟性を併せ持つことも大事です。また、開発されたアプリケーションは、量産現場において複雑なデバイス構造を高速且つ高精度に計測することを可能にしなければなりません。

そのようなソフトウェアと適切なハードウェア製品のドッキングにより、CDコントロール、厚み、エッチ深さなど、業界の測定ニーズに対応する最高の計測性能および結果が得られます。また、SWA、ゲート下のアンダーカット、フット、ノッチ、その他のプロファイル情報や形状情報など、CD-SEMでは「見えない」パラメータも計測できます。最後に、光波散乱計測は生産用ツールですから、このソフトウェアは、量産現場レベルで機能するモデリング・ソリューションとなる必要があります。

NovaMARSソフトウェア
計測解析とレシピ・セットアップに対応するNovaMARSソフトウェアは、これらの厳しい条件を満たし、NOVAの光波散乱計測ベースのNovaScan 3090シリーズ(ハードウェア)を強力に、かつ使いやすくします。NovaMARSとNovaScan 3090シリーズというハードウェアとソフトウェアの連携により、エンドユーザに計測ツールの利点を最大限に提供します。プロセス指向モデリング・フレキシビリティ（POMF）は、光波散乱オーバレイのモデリングとレシピ作成を容易にし、直接的なダイ内計測、高度なリソグラフィOPC構造を可能にします。また特有のアルゴリズムが、パターン・サイトとソリッド・サイトのn、k測定など、材料のキャラクタリゼーションに対応します。シンプルさと自動化、そして複雑な構造を測定する機能が、アプリケーション開発を新しいレベルに進化させます。
アプリケーション開発のオプション：

•  リアルタイム回帰


• ライブラリ・ベースのソリューション

高速計算オプション：

• ハイパワー・コンピュテーション（NovaHPC）


•  ネットワーク上でのグリッド分散コンピューティング

主な利点：

• Easy Use


• レシピ・セットアップの完全な自動化


• 2D、3Dのプロファイル計測を可能にする無限の柔軟性


• 高度なOPC構造の簡単なモデリングとレシピ作成


• ダイ内直接計測


• 高スループット